簡易檢索 / 檢索結果

  • 檢索結果:共2筆資料 檢索策略: "sputter".ekeyword (精準) and ckeyword.raw="氮化鉭"


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    TaNx薄膜之材料與擴散阻障分析
    • 化學工程系 /97/ 碩士
    • 研究生: 邱鴻錡 指導教授: 李嘉平 郭俞麟
    • 以RF濺鍍來成長TaNx薄膜並觀察N2/Ar流量比對TaNx薄膜之沈積速率、N/Ta原子比、電阻率及結晶結構之影響。實驗結果顯示TaNx薄膜的沈積速率會隨著N2/Ar流量比的增加而下降;TaNx薄膜…
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    氮化碳及氮化碳–氮化銅薄膜之雙極式電阻式記憶體
    • 材料科學與工程系 /111/ 碩士
    • 研究生: 張郁賢 指導教授: 周賢鎧
    • 本研究聚焦以 α-氮化碳 (Alpha carbon nitride, α-C3N4) 作為介電層,應用於雙極電阻式記憶體 (Bipolar Resistive Random Access …
    • 點閱:280下載:4
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